等离子体化学气相沉积连续生产装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行等离子体化学气相沉积PIN层的设备，具体的说是一种等离子体化学气相沉积连续生产装置。该装置包括自动上下料平台、进片室、加热室、P层沉积室、多个I层的沉积室、N层沉积室、冷却仓、出片室、传动机构、回转台、回转机构、门阀，所述的自动上下料平台设置在本装置的一端，靠近自动上下料平台由左至右依次设置有进片室、加热室、P层沉积室、多个I层的沉积室、N层沉积室、冷却仓、出片室，传动机构设置在由进片室、加热室、P层沉积室、多个I层的沉积室、N层沉积室、冷却仓、出片室构成的连续沉积隧道内，出片室与回转台联通。

主权项

一种等离子体化学气相沉积连续生产装置，其特征在于：该装置包括自动上下料平台(1)、进片室(2)、加热室(3)、P层沉积室(4)、多个I层的沉积室(5)、N层沉积室(6)、冷却仓(7)、出片室(8)、传动机构(9)、回转台(10)、回转机构(11)、门阀(12)，所述的自动上下料平台(1)设置在本装置的一端，靠近自动上下料平台(1)由左至右依次设置有进片室(2)、加热室(3)、P层沉积室(4)、多个I层的沉积室(5)、N层沉积室(6)、冷却仓(7)、出片室(8)，传动机构(9)设置在由进片室(2)、加热室(3)、P层沉积室(4)、多个I层的沉积室(5)、N层沉积室(6)、冷却仓(7)、出片室(8)构成的连续沉积隧道内，出片室(8)与回转台(10)联通。