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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ISOLIERTEN INTEGRIERTEN HALBLEITERSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 AT503271(T) 申请公布日期 2011.04.15
申请号 AT20080850185T 申请日期 2008.11.14
申请人 TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH 发明人 BLASTER, SCOTT;EL-KAREH, BAHID;YASUDA, HORISHI
分类号 H01L21/8228;H01L27/082 主分类号 H01L21/8228
代理机构 代理人
主权项
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