发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON ELEKTRONISCHEN BAUTEILEN
摘要
申请公布号 AT504947(T) 申请公布日期 2011.04.15
申请号 AT20060724491T 申请日期 2006.04.21
申请人 STEINER GMBH & CO. KG 发明人 TREUDE, ROLF
分类号 H01L51/40;C23C14/04 主分类号 H01L51/40
代理机构 代理人
主权项
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