| 发明名称 |
DEBRIS CAPTURE AND REMOVAL FOR LASER MICROMACHINING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110038627(A) |
申请公布日期 |
2011.04.14 |
| 申请号 |
KR20107028623 |
申请日期 |
2009.06.11 |
| 申请人 |
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
KOSMOWSKI MARK T. |
| 分类号 |
B23K26/16;B23K26/14;B23K26/36;B23K26/42 |
主分类号 |
B23K26/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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