发明名称 |
三氯氢硅合成装置 |
摘要 |
本发明公开了一种三氯氢硅合成装置,包括合成炉筒体(3),合成炉筒体(3)外部有加热部件,其特征是:加热部件包括加热花板(8)和电阻丝(7),加热花板(8)为圆环片状,加热花板(8)设置在合成炉筒体(3)的外表面,加热花板(8)的环形表面上轴向密布有通孔(15),通孔(15)形成与加热花板内圆周同心的三圈同心圆通孔带,通孔(15)上固定有中空绝缘磁筒(9),电阻丝(7)在每个绝缘瓷筒(9)中心穿过。该合成装置升温迅速、控温准确、节约能源、便于操作,能显著提高三氯氢硅生产效率。 |
申请公布号 |
CN102009980A |
申请公布日期 |
2011.04.13 |
申请号 |
CN201010602981.9 |
申请日期 |
2010.12.23 |
申请人 |
江西嘉柏新材料有限公司 |
发明人 |
郎丰平;邱顺恩;黄少辉;黄小明;李明生 |
分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
代理机构 |
北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 |
代理人 |
王明霞 |
主权项 |
一种三氯氢硅合成装置,包括合成炉筒体(3),合成炉筒体(3)外部有加热部件,其特征是:加热部件包括加热花板(8)和电阻丝(7),加热花板(8)为圆环片状,加热花板(8)设置在合成炉筒体(3)的外表面,加热花板(8)的环形表面上轴向密布有通孔(15),通孔(15)形成与加热花板内圆周同心的三圈同心圆通孔带,通孔(15)上固定有中空绝缘磁筒(9),电阻丝(7)在每个绝缘瓷筒(9)中心穿过。 |
地址 |
333311 江西省景德镇市江西省景德镇市乐平市塔山工业园 |