一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法

摘要

本发明涉及的是一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用。此外，本发明还可以将热流槽中流出的热传热介质用于氮气的预热，实现了热量的循环利用，节约了生产成本。

主权项

一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，其特征在于：在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用。