蚀刻硅基材料的方法

摘要

描述了在小的局部区域中选择性蚀刻硅衬底以在蚀刻表面中形成柱或柱体的方法。将硅衬底放在氟化氢、银盐和醇的蚀刻溶液中。醇的引入提供了更高的硅柱堆积密度。

主权项

蚀刻硅衬底直到形成硅柱的方法，包括使硅衬底与下列物质的水溶液接触：■氟酸、或氟盐，其含量为1.5‑10M，■能够在氟离子存在下在硅上无电沉积金属的金属盐，其含量为5‑100mM和■醇，其含量为1‑40体积％。