发明名称 用于无基板模塑封装的去应力构造技术
摘要 本发明涉及用于无基板模塑封装的去应力构造技术。用于制造包括微/纳结构的元件的构件的方法包括下列步骤:提供基板(1);将至少一个微/纳结构的元件(4,4′)覆设到基板(1)上;用能被热分解的聚合物(7)包封已覆设的微/纳结构的元件(4,4′);用包封料(9)至少部分地包封用能被热分解的聚合物包封的微/纳结构的元件(4,4′);将已获得的装置加热到这样的温度上,即,对于该温度而言,被热分解的聚合物(7)在该方法中被热分解并且至少部分地转化成气态成分,此外还这样选择所述温度,以致于获得的装置的其它材料不被转化成气态成分。
申请公布号 CN102009944A 申请公布日期 2011.04.13
申请号 CN201010273939.7 申请日期 2010.09.03
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 R·埃伦普福特;F·哈格
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 主分类号 B81C1/00(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李永波;梁冰
主权项 一种用于制造包括微/纳结构的元件(4,4′)的构件的方法,包括下列步骤:‑提供基板(1);‑将至少一个微/纳结构的元件(4,4′)覆设到所述基板(1)上;‑用能被热分解的聚合物(7)包封已覆设的微/纳结构的元件(4,4′);‑用包封料(9)至少部分地包封用能被热分解的聚合物包封的微/纳结构的元件(4,4′);‑将获得的装置加热到这样的温度上,即,对于该温度而言,所述能被热分解的聚合物(7)在该方法中被热分解并且至少部分地转化成气态成分,此外还这样选择所述温度,以致于所述获得的装置的其它材料不被转化成气态成分。
地址 德国斯图加特