发明名称 |
用于无基板模塑封装的去应力构造技术 |
摘要 |
本发明涉及用于无基板模塑封装的去应力构造技术。用于制造包括微/纳结构的元件的构件的方法包括下列步骤:提供基板(1);将至少一个微/纳结构的元件(4,4′)覆设到基板(1)上;用能被热分解的聚合物(7)包封已覆设的微/纳结构的元件(4,4′);用包封料(9)至少部分地包封用能被热分解的聚合物包封的微/纳结构的元件(4,4′);将已获得的装置加热到这样的温度上,即,对于该温度而言,被热分解的聚合物(7)在该方法中被热分解并且至少部分地转化成气态成分,此外还这样选择所述温度,以致于获得的装置的其它材料不被转化成气态成分。 |
申请公布号 |
CN102009944A |
申请公布日期 |
2011.04.13 |
申请号 |
CN201010273939.7 |
申请日期 |
2010.09.03 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
R·埃伦普福特;F·哈格 |
分类号 |
B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
李永波;梁冰 |
主权项 |
一种用于制造包括微/纳结构的元件(4,4′)的构件的方法,包括下列步骤:‑提供基板(1);‑将至少一个微/纳结构的元件(4,4′)覆设到所述基板(1)上;‑用能被热分解的聚合物(7)包封已覆设的微/纳结构的元件(4,4′);‑用包封料(9)至少部分地包封用能被热分解的聚合物包封的微/纳结构的元件(4,4′);‑将获得的装置加热到这样的温度上,即,对于该温度而言,所述能被热分解的聚合物(7)在该方法中被热分解并且至少部分地转化成气态成分,此外还这样选择所述温度,以致于所述获得的装置的其它材料不被转化成气态成分。 |
地址 |
德国斯图加特 |