基板质量测试器

摘要

提供一种基板质量测试器。此基板质量测试器包括检测单元，此检测单元将一体地提供给安装在机器人的机器人支撑框架的一端以搬运基板。因此，能够解决由于基板的大小变化使其重量增加而导致基板搬运不稳定，稳定地进行基板表面的质量检测，以及稳定地供应基板给处理设备。

主权项

一种基板质量测试器，包括：机器人支撑框架，由驱动零件旋转；以及机器人零件，互相结合在所述机器人支撑框架，根据所述机器人支撑框架的旋转来抽取安装在托盘上的基板，以及供应所述基板给处理设备，其中在所述机器人支撑框架的端部一体地提供检测单元，以便在所述基板由所述机器人零件的交互移动而通过时，实时地检查所述基板的表面及边缘的质量，以及所述检测单元受到控制单元的控制，以便综合地确定所述基板是否受到损害。