一种用于MEMS结构制备的金属湿法刻蚀装置及刻蚀工艺

摘要

本发明公开了一种可用于在大尺寸硅片上制备MEMS结构的金属薄膜湿法刻蚀装置及工艺，其主要内容是：将图形化的硅片置于特殊设计的夹具上，在腐蚀过程中，硅片浸没于刻蚀液内，夹具在电机带动下缓慢匀速旋转；同时采用高纯氮气轻微搅拌刻蚀液。观察和监测硅片表面的变化直到完全去除需要去除的相应膜层。采用该装置和工艺可以在大尺寸硅片上获得过刻较小，且均匀性良好的刻蚀图形。

主权项

一种用于MEMS结构制备的金属湿法刻蚀装置，其特征在于，设置在支撑装置(120)上的电机连接电机转速控制器和小型直流变速机(20)，所述小型直流变速机(20)通过连接杆(30)悬挂硅片夹具，所述硅片夹具(40)的对应下方设置有通过容器支撑架(130)支撑的腐蚀液容器(50)，所述腐蚀液容器(50)的底部设置有均匀分布的进气口，高纯氮气从该进气口通入，控制高纯氮气的气压实现盛放在腐蚀液容器(50)中的刻蚀剂的轻微搅动，所述硅片夹具(40)的下端放有待刻蚀金属膜层硅片(80)，所述小型直流变速机(20)在电机转速控制器(10)的传动下带动硅片夹具(30)匀速缓慢旋转，使浸入刻蚀液的待刻蚀金属膜层硅片(80)完成刻蚀。