从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法

摘要

本发明是一种从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法。属于碳化硅的制备方法。特别涉及硅片线切割加工废砂浆的资源化回收利用。其特征在于包括如下步骤：第一步、碳化硅微粉与含硅粉的切割液分离操作单元，第二步、切割液回收操作单元，第三步、碳化硅微粉回收操作单元。提供了一种工艺简单，回收成本较低，回收的碳化硅微粉达到太阳能晶硅片切割刃料的技术标准，回收的切削液达到循环使用技术要求的从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法。节约能源和水源。处理得到的线切割刃料碳化硅微粉SiC含量≥99％。回收的碳化硅微粉和线切割液可以作为产品对市场销售。

主权项

一种从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法，其特征在于包括如下步骤：第一步碳化硅微粉与含硅粉的切割液分离操作单元依据硅粉与碳化硅微粉颗粒密度的差异，选用卧螺离心机通过多级分离，将废砂浆中的碳化硅微粉与含硅粉的切割液分离；第二步.切割液回收操作单元采用自然沉降和压滤相结合的方法，将硅粉与切割液分离，滤液依次进行脱色处理、离子交换、多效蒸发脱水、超滤、灌装，制得成品切割液；第三步.碳化硅微粉回收操作单元来自第一步分离得到的碳化硅，采用适量的30％的氢氧化钠溶液和98％的硫酸，先后进行化学处理后，加入分散剂，进行水力溢流分级，得到的湿碳化硅微粉，干燥、筛分后制得成品线切割刃料碳化硅微粉。