| 发明名称 | 用于主动电压补偿的设备和方法 | ||
| 摘要 | 描述了一种电压补偿组件，其适合于具有用于与衬底上的电子元件相接触的探测器的系统。该电压补偿组件包括：连接到探测器并且适合于经由探测器对电子元件进行主动电压补偿的控制器；以及连接到控制器并且用于对衬底上的电压进行测量的电压测量单元。 | ||
| 申请公布号 | CN102016609A | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200980101191.8 | 申请日期 | 2009.10.21 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 伯恩哈德·米勒 |
| 分类号 | G01R31/02(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I;H04M1/00(2006.01)I;G01S1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 赵飞;南霆 |
| 主权项 | 一种电压补偿组件，其适合于具有用于与衬底(105)上的电子元件相接触的探测器(430、432)的系统；所述电压补偿组件包括：控制器，其连接到所述探测器(430、432)并且适合于经由所述探测器对所述电子元件进行主动电压补偿；以及电压测量单元(160、460)，其连接到所述控制器并且用于测量所述衬底上的电压。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||