滚动引导装置

摘要

滚动引导装置(160)，具有作为轨道部件的轨道导轨(161)、和经由滚珠(1 62)移动自如地安装在该轨道导轨(161)上的移动体(163)。而且对滚珠(162)形成由封闭磁场不均衡磁控溅射装置(CUMS装置)形成的固体润滑膜。该固体润滑膜，在膜的最表面具有低摩擦系数，并且耐内部的反复应力，且紧贴力高。这样的固体润滑膜，不会从膜的内部或边界部破损，自膜表面以最小的速度磨耗，所以可发挥可靠性高的理想的固体润滑功能，通过将这样的紧贴性以及耐磨耗性提高了的固体润滑膜用于滚动引导装置，可提供在不良润滑环境或高温真空状态、或者无油等特殊环境下可使用的滚动引导装置。

主权项

一种滚动引导装置，具有：轨道部件、经由多个滚动体而移动自如地安装在上述轨道部件上的移动体，上述多个滚动体，设置在无限循环通道上，该无限循环通道包括：形成在上述轨道部件与上述移动体之间的负荷滚动通道、和以连结该负荷滚动通道的一端与另一端的方式形成在上述移动体上的无负荷滚动通道，其特征在于，对上述多个滚动体、上述负荷滚动通道或上述无负荷滚动通道的至少一个的表面，形成在层状结晶化合物中导入了金属原子的固体润滑膜，上述固体润滑膜，膜厚在0.5～3μm的范围内，上述层状结晶化合物包含MoS2、WS2或石墨的至少1种化合物，上述金属原子，包含钛(Ti)、钨(W)、铝(Al)、铬(Cr)、锆(Zr)、硅(Si)或硼(B)的至少1种元素，上述固体润滑膜相对于上述多个滚动体的表面形成，在上述多个滚动体之间，设置比上述滚动体以及上述固体润滑膜柔软的间隔部件，该间隔部件，是直径在上述滚动体的直径以下的间隔珠或保持件。