发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE602005026497(D1) 申请公布日期 2011.04.07
申请号 DE200560026497T 申请日期 2005.09.26
申请人 HITACHI SCIENCE SYSTEMS LTD. 发明人 HATANO, MICHIO;ITO, SUKEHIRO;TOMITA, SHINICHI;KATANE, JUNICHI
分类号 H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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