发明名称 SAMPLE RECEIVING DEVICE FOR SAMPLE MATERIALS IN ULTRA-HIGH VACUUM CHAMBERS
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Probenaufnahmevorrichtung für Probenmaterialien in Ultrahochvakuumkammern mit einem wechselbaren Probenhalter (4), der einen scheibenförmigen ProbenaufIagekörper und einen davon abstehenden Fortsatz hat, einem Halterungsteil (1) mit einer Zentrieröffnung, die zur zentrierten Aufnahme des Fortsatzes des Probenhalters (4) geformt ist und in eine durch das Halterungteil hindurchgehende Durchgangsöffnung (8) übergeht, einem Zugstab (3), der von der der Zentrieröffnung gegenüberliegenden Seite in die Durchgangsöffnung (8) eingeführt ist und mit seinem eingeführten Ende wenigstens zwei Spannkörper (3b) in der Weise beweglich halt, dass sie eine Bewegung quer zur Längsachse der Durchgangsöffnung (8) ausführen können, einer relativ zu dem Halterungsteil (1) feststehenden Führungskurve (7), um die Spannkörper (3b) bei Bewegung des Zugstabes in Richtung der Längsachse der Durchgangsöffnung (8) so zu führen, dass die Spannkörper (3b) in einer ersten Stellung des Zugstabes (3) in Eingriff hinter radialen Eingriffsvorsprüngen an den Fortsatz (4a) angedrückt werden, so dass der Zugstab (3) auf den Probenhalter (4) eine in Richtung in die Zentrieröffnung hinein gerichtete Zugkraft ausüben kann, und dass die Spannkörper (3b) in einer zweiten Stellung des Zugstabes (3), in der dieser weiter in die Durchgangsöffnung hinein geschoben ist, in Richtung quer zur Längsachse der Durchgangsöffnung so weit verschoben sind, dass die radialen Eingriffsvorsprünge sie passieren können, wenn der Fortsatz des Probenhalters (4) aus der Durchgangsöffnung und der Zentrieröffnung heraus gezogen wird.</p>
申请公布号 WO2011038938(A1) 申请公布日期 2011.04.07
申请号 WO2010EP06052 申请日期 2010.10.04
申请人 DEUTSCHES ELEKTRONEN-SYNCHROTRON DESY;DOEHRMANN, RALPH 发明人 DOEHRMANN, RALPH
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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