SEMICONDUCTOR COMPONENT WITH A WINDOW OPENING AS AN INTERFACE FOR AMBIENT COUPLING

摘要

Eine Fensteröffnung in einem Halbleiterbauelement wird auf der Grundlage einer Gatestruktur hergestellt, die als effiziente Ätzstoppschicht dient, um einen Isolationsschichtstapel zuverlässig zu ätzen, ohne das photoempfindliche Halbleitergebiet freizulegen. Das Polysilizium der Gatestruktur wird sodann auf der Grundlage eines etablierten Gate-Ätzprozesses abgetragen, wobei die Gateisolationsschicht die Integrität des photoempfindlichen Halbleitermaterials bewahrt.