发明名称 |
涂布设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种涂布设备,包括狭缝喷嘴,其中,所述狭缝喷嘴的一侧设置有清洁喷嘴,所述清洁喷嘴朝向待涂布的基板,尾部连接有气体传输管道,所述清洁喷嘴与所述气体传输管道内部连通。通过清洁喷嘴对基板表面进行清洁,除掉了基板表面的浮游性PARTICLE以及类似于玻璃碎屑等杂物,避免了PARTICLE存在于PR或密封胶等涂布液下面造成的涂布不良发生,提高了PR或密封胶等涂布液涂布的平整度及均匀性。 |
申请公布号 |
CN201783440U |
申请公布日期 |
2011.04.06 |
申请号 |
CN201020536147.X |
申请日期 |
2010.09.17 |
申请人 |
北京京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
焦宇;张学智;宋瑞涛 |
分类号 |
B05C5/02(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I |
主分类号 |
B05C5/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
刘芳 |
主权项 |
一种涂布设备,包括狭缝喷嘴,其特征在于,所述狭缝喷嘴的一侧设置有清洁喷嘴,所述清洁喷嘴朝向待涂布的基板,尾部连接有气体传输管道,所述清洁喷嘴与所述气体传输管道内部连通。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 |