发明名称 涂布设备
摘要 本实用新型公开了一种涂布设备,包括狭缝喷嘴,其中,所述狭缝喷嘴的一侧设置有清洁喷嘴,所述清洁喷嘴朝向待涂布的基板,尾部连接有气体传输管道,所述清洁喷嘴与所述气体传输管道内部连通。通过清洁喷嘴对基板表面进行清洁,除掉了基板表面的浮游性PARTICLE以及类似于玻璃碎屑等杂物,避免了PARTICLE存在于PR或密封胶等涂布液下面造成的涂布不良发生,提高了PR或密封胶等涂布液涂布的平整度及均匀性。
申请公布号 CN201783440U 申请公布日期 2011.04.06
申请号 CN201020536147.X 申请日期 2010.09.17
申请人 北京京东方光电科技有限公司 发明人 焦宇;张学智;宋瑞涛
分类号 B05C5/02(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I 主分类号 B05C5/02(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 刘芳
主权项 一种涂布设备,包括狭缝喷嘴,其特征在于,所述狭缝喷嘴的一侧设置有清洁喷嘴,所述清洁喷嘴朝向待涂布的基板,尾部连接有气体传输管道,所述清洁喷嘴与所述气体传输管道内部连通。
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