太阳电池的热处理装置

摘要

本发明提供一种太阳电池的热处理装置。该太阳电池的热处理装置用于进行在形成黄铜矿型太阳电池的光吸收层时进行的硒化处理或者硫化处理，其中，多张太阳电池基板以在板厚方向设有恒定的间隙的方式并列地配置在石英管的内部，所述太阳电池的热处理装置具备：加热机构，该加热机构配置在石英管的外侧部，用于对气氛气体进行加热；以及第一导风板，该第一导风板配置在基板的上部，用于将沿着石英管的内侧面上升的被加热后的气氛气体从上方引导至基板的中心部。

主权项

一种黄铜矿型太阳电池的热处理装置，该黄铜矿型太阳电池的热处理装置用于进行在形成黄铜矿型太阳电池的光吸收层时进行的硒化处理或者硫化处理，其特征在于，多张太阳电池基板以在板厚方向设有恒定的间隙的方式并列地配置在石英管的内部，所述黄铜矿型太阳电池的热处理装置具备：加热机构，该加热机构配置在所述石英管的外侧部，用于对气氛气体进行加热；以及第一导风板，该第一导风板配置在所述基板的上部，用于将沿着所述石英管的内侧面上升的被加热后的气氛气体从上方引导至所述基板的中心部。