承载板的衬孔凸缘的更换方法

摘要

一种承载板的衬孔凸缘的更换方法，包括以下步骤。首先，提供一承载板。承载板具有第一表面、第二表面与衬孔。衬孔具有暴露于外的第一凸缘，并且衬孔适于容纳一轴衬。接着，移除衬孔的一部分以形成一容纳孔。容纳孔的深度小于衬孔的深度，衬孔的被移除的那部分包括第一凸缘。接着，提供一置换件。置换件具有第三表面、第四表面及贯穿孔，贯穿孔具有暴露于外的第二凸缘。贯穿孔的尺寸与衬孔的被移除的那部分的尺寸相同。接着，将置换件配置于容纳孔内，且贯穿孔的位置对应于且连通未衬孔的被移除的另一部分的位置。接着，将置换件焊接于承载板上，且第二凸缘适于卡合于轴衬。所述的方法可对承载板上损坏的衬孔凸缘进行更换。

主权项

一种承载板的衬孔凸缘的更换方法，包括以下步骤：提供一承载板，其中该承载板适用于一基板处理装置且适于承载一基板，该承载板具有一第一表面、一第二表面、一衬孔与一推销孔，该第一表面与该第二表面相对配置，该第一表面适于承载该基板，该衬孔由该第二表面延伸至该承载板内，该推销孔由该第一表面延伸至该承载板内且连通该衬孔，该衬孔具有一暴露于外的第一凸缘，并且该衬孔适于容纳一轴衬；移除该衬孔的一部分以形成一容纳孔，其中该容纳孔的深度小于该衬孔的深度，且该衬孔的被移除的该部分包括该第一凸缘；提供一置换件，其中该置换件具有一第三表面、一第四表面及一贯穿孔，该第三表面与该第四表面相对配置，该贯穿孔由该第三表面贯通至该第四表面，该贯穿孔具有一暴露于外的第二凸缘，该贯穿孔的尺寸与该衬孔的被移除的该部分的尺寸相同；将该置换件配置于该容纳孔内，使得该第四表面位于该承载板内，该第三表面与该第二凸缘暴露于外，且该贯穿孔的位置对应于且连通该衬孔的未被移除的另一部分的位置；将该置换件焊接于该承载板上，其中该贯穿孔与该衬孔的未被移除的该部分共同适于容纳该轴衬，且该第二凸缘适于卡合于该轴衬。