| 发明名称 | 一种半导体传输系统中的真空锁 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体传输系统中的真空锁，它包括：腔体和固定连接在所述腔体上的上盖，其中，上盖的上表面凹设有一环形槽，使上盖的上表面于环形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。因此，当需要提起上盖时，操作者站在真空锁周围任一位置时提起上盖都非常方便。 | ||
| 申请公布号 | CN101677076B | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200810222415.8 | 申请日期 | 2008.09.16 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 韦磊 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 曹洪进 |
| 主权项 | 一种半导体传输系统中的真空锁，它包括：腔体和固定连接在所述腔体上的上盖，其特征在于，所述上盖的上表面凹设有一环形槽，使所述上盖的上表面于所述环形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 | ||