具有活塞膈膜的压电微扬声器及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有活塞膈膜的压电微扬声器及其制造方法。该压电微扬声器包括：基板，具有形成在其中的腔室；振动膜，设置在基板上并至少覆盖腔室的中心部分；压电致动器，设置在振动膜上，从而使振动膜振动；以及活塞隔膜，设置在腔室中并通过振动膜的振动进行活塞运动。当振动膜由于压电致动器而振动时，通过活塞杆连接到振动膜的活塞隔膜在腔室中进行活塞运动。

主权项

一种微扬声器，包括：基板，具有形成在其中的腔室；振动膜，设置在所述基板上且至少覆盖所述腔室的中心部分；压电致动器，设置在所述振动膜上，其中所述压电致动器的移动使所述振动膜振动；以及活塞隔膜，设置在所述腔室中并连接到所述振动膜，其中由于所述压电致动器的移动而引起的所述振动膜的振动使所述活塞隔膜移动。