发明名称 Verfahren zur Herstellung von mit Phosphor dotierten Schichten in halbleitenden Materialien
摘要
申请公布号 DE1544339(A1) 申请公布日期 1970.04.16
申请号 DE19661544339 申请日期 1966.06.24
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 A. FOREST,RICHARD
分类号 C23C16/40;C30B31/02;H01L21/00;H01L21/223 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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