发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von mit Phosphor dotierten Schichten in halbleitenden Materialien |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1544339(A1) |
申请公布日期 |
1970.04.16 |
申请号 |
DE19661544339 |
申请日期 |
1966.06.24 |
申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
A. FOREST,RICHARD |
分类号 |
C23C16/40;C30B31/02;H01L21/00;H01L21/223 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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