光学膜层的制作方法及影像感测元件

摘要

一种光学膜层的制作方法及影像感测元件，该光学膜层的制作方法，包括：提供一具有多个第一区与多个第二区的影像感测晶片。在第一区上分别形成多个第一色滤光单元。在影像感测晶片上形成一覆盖第一色滤光单元与第二区的第二色滤光材料层。对第二色滤光材料层进行曝光，以形成多个位于第二区内的受曝光区。每一受曝光区的宽度小于对应的第二区的宽度。利用一显影制程移除第二色滤光材料层的位于受曝光区以外的区域，以形成多个分别配置于第二区上的第二色滤光单元。在第一色滤光单元与第二色滤光单元上形成多个微透镜。每一滤光单元被微透镜之一所自我对准。一种影像感测元件亦被提出。

主权项

一种光学膜层的制作方法，包括：提供一影像感测晶片，其中该影像感测晶片具有多个第一区与多个第二区，该些第一区与该些第二区的每一区对应至该影像感测晶片的一画素；在该些第一区上分别形成多个第一色滤光单元；在该影像感测晶片上形成一第二色滤光材料层，其中该第二色滤光材料层覆盖该些第一色滤光单元与该影像感测晶片的该些第二区；对该第二色滤光材料层进行曝光，以在该第二色滤光材料层上形成多个受曝光区，其中该些受曝光区分别位于该些第二区内，且每一该受曝光区的宽度小于对应的该第二区的宽度；利用一显影制程移除该第二色滤光材料层的位于该些受曝光区以外的区域，以形成多个分别配置于该些第二区上的第二色滤光单元；以及在该些第一色滤光单元与该些第二色滤光单元上形成多个微透镜，其中该些第一色滤光单元与该些第二色滤光单元中的每一滤光单元被该些微透镜之一所自我对准。