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一种基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，其特征在于，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端；所述双向运动梁单元包括双向运动梁、锁定滑块、柔性缓冲弹簧、动触点，其中：双向运动梁与电热电磁驱动单元中的柔性电热弹簧相连，构成自由运动的可动梁；锁定滑块具有圆弧形结构，一对锁定滑块对称分布于双向运动梁的左右两边，一对动触点对称分布于双向运动梁的左右两端，并通过柔性缓冲弹簧与双 向运动梁相连；蛇形结构的柔性缓冲弹簧连接着动触点；所述机械锁定单元包括热驱动基座、热驱动电极、U型热驱动热臂、U型热驱动冷臂、锁定触头，其中：热驱动基座位于衬底上方，并与衬底紧密相连；热驱动电极位于热驱动基座上方，U型热驱动器热臂和U型热驱动器冷臂分别与热 驱动电极相连，一段圆弧形片段连接U型热驱动器热臂和U型热驱动器冷臂；锁定触头位于U型热驱动器热臂的端部。 |
