| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft einen bildgebenden Energiefilter für elektrisch geladene Teilchen mit einem toroidalen Energieanalysator (30), vorzugsweise mit einem Halbkugelanalysator, mit einer Eintrittsebene (4) und einer Austrittsebene (1). Um einen bildgebenden Energiefilter bzw. ein Spektroskop mit solch einem bildgebenden Energiefilter zur Verfügung zu stellen, das eine höhere Orts- und Winkelauflösung aufweist und das mit einem größeren Akzeptanzwinkel betrieben werden kann, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein Spiegelelement (2) für elektrisch geladene Teilchen vorgesehen ist und derart angeordnet ist, dass geladene Teilchen, welche den toroidalen Energieanalysator über die Austrittsebene verlassen, durch das Spiegelelement zurück in den toroidalen Energieanalysator reflektiert werden, so dass die geladenen Teilchen den toroidalen Energieanalysator ein weiteres mal in umgekehrter Laufrichtung durchlaufen.</p> |
