| 发明名称 | 数字X光探测面板及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明是有关于一种数字X光探测面板及其制作方法，该数字X光探测面板，其包括一光波长转换层以及一光电探测器阵列基板。光波长转换层用于将X光转换为可见光。光电探测器阵列基板设置于光波长转换层的下方，其包括一基板与设置于基板且呈阵列排列的多个光电探测单元。每一光电探测单元包括一薄膜晶体管以及与薄膜晶体管电性连接的一光二极管。薄膜晶体管包括一氧化物半导体层。此数字X光探测面板可避免于薄膜晶体管产生光电流，从而提高X光探测效果。本发明还涉及一种数字X光探测面板的制作方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101997010A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200910166103.4 | 申请日期 | 2009.08.11 |
| 申请人 | 元太科技工业股份有限公司 | 发明人 | 舒芳安;陈礼廷;王裕霖;蓝纬洲 |
| 分类号 | H01L27/144(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/12(2006.01)I;H01L31/102(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/26(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/144(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 一种数字X光探测面板，其特征在于其包括：一光波长转换层，用于将X光转换为可见光；以及一光电探测器阵列基板，设置于该光波长转换层的下方，该光电探测器阵列基板包括一基板与设置于该基板且呈阵列排列的多个光电探测单元，每一光电探测单元包括一薄膜晶体管以及与该薄膜晶体管电性连接的一光二极管，其中该薄膜晶体管包括一氧化物半导体层。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||