发明名称 一种在金属工件表面形成图案的方法
摘要 本发明提供了一种在金属工件表面形成图案的方法,该方法通过使用与金属工件需要形成图案的表面的形状相吻合的透明治具将菲林固定在感光的抗蚀刻材料层上,使得菲林与该材料层之间的接触更加紧密,加工精度更高,另外,由于没有使用粘合胶,使得菲林的拆除非常方便快捷,并且不会对菲林本身造成损坏,提高的菲林的使用寿命从而降低了生产成本。
申请公布号 CN101575706B 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN200810096156.9 申请日期 2008.05.09
申请人 比亚迪股份有限公司 发明人 章乐;李爱华;赵万里
分类号 C23F1/02(2006.01)I 主分类号 C23F1/02(2006.01)I
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人 王崇;王凤桐
主权项 一种在金属工件表面形成图案的方法,该方法包括至少在金属工件需要形成图案的表面涂覆感光的抗蚀刻材料层,将菲林固定在抗蚀刻材料层上,曝光,去除菲林,显影以去除掉未感光的抗蚀刻材料层;对去除了抗蚀刻材料层的金属工件表面进行蚀刻,其特征在于,将菲林固定在该材料层上的方法包括使用与金属工件需要形成图案的表面的形状相吻合的透明治具将菲林固定,该方法还包括在曝光后,将透明治具去除掉。
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