发明名称 |
一种恒温控制装置 |
摘要 |
本发明公开了一种恒温控制装置,对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区,同时在装置外部设置隔离区等技术手段,解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。 |
申请公布号 |
CN101364116B |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN200810200084.8 |
申请日期 |
2008.09.18 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
余斌;陈勇辉;聂宏飞;余小虎;黄友任;金敏 |
分类号 |
G05D23/13(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G05D23/13(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种恒温控制装置,通过对流体介质进行冷却和加热处理,来控制流体介质温度恒定,其特征在于:该装置外部设有制冷器,内部设有加热器,装置内腔包括加热区,所述加热器设置在所述加热区,用于加热流经所述加热区的流体介质;所述装置内腔还包括混合区,用于混合不同温度的流体介质;所述的装置内腔还包括均匀区,均匀区中设置有用于定向疏导流体介质流向的导流板;所述导流板为两块相互成一定夹角的V型板。 |
地址 |
201203 上海市张江张东路1525号 |