| 发明名称 | 末端执行器及带有该末端执行器的基片传送自动机械 | ||
| 摘要 | 在基片传送自动机械中的末端执行器，其包括：肘节板、以可沿垂直方向移动的方式连接至肘节板以支承第一基片的第一托板、和连接至肘节板以支承第二基片的第二托板，其中，第二托板靠近第一托板。升降装置向上移动所述第一托板以让所述第一托板支承所述第一基片，向下移动所述第一托板以让所述第二托板支承第二基片。 | ||
| 申请公布号 | CN101383319B | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200810215787.8 | 申请日期 | 2008.09.05 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 河宗义 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B25J9/06(2006.01)I;B65G47/90(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人 | 尹洪波 |
| 主权项 | 一种用于包括臂的自动机械的末端执行器，其包括：肘节板，其可转动地连接至所述臂；第一托板，其以可沿垂直方向移动的方式连接至所述肘节板，以支承第一基片；以及第二托板，其连接至所述肘节板，以支承第二基片，该第二托板靠近所述第一托板。 | ||
| 地址 | 韩国忠南天安市业成洞623-5番地 | ||