真空镀膜设备中的矩形平面磁控阴极结构

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜设备中的矩形平面磁控阴极结构，包括：在阴极体和靶材压条的外周设置屏蔽罩；在冷却背板和靶材之间还设置一层导热碳膜；还包括：一磁路组件；所述的磁路组件固定设置在阴极体内且位于冷却背板的下部；所述的磁路组件包括由永磁材料组成的外永磁体、磁轭、由导磁的铁磁性材料或软磁材料组成的导磁螺钉，由永磁材料组成的内永磁体和在外永磁体和内永磁体之间的二个由导磁的铁磁性材料或软磁材料组成的分流块；分流块通过导磁螺钉固定连接在磁轭上；外永磁体和内永磁体被粘接在磁轭上；分流块的设置改变了磁路组件磁场的空间分布，提高了靶材表面平行磁感应强度分布的均匀性，有效地提高了靶材的利用率。

主权项

一种真空镀膜设备中的矩形平面磁控阴极结构，包括：两端设置有密封圈的盖板；在所述的盖板固定设置绝缘座；阴极体放置在绝缘座上，并通过绝缘螺钉与盖板固定在一起；在阴极体上方固定设置冷却背板；在所述的冷却背板上通过靶材两侧的靶材压条将靶材固定；靶材压条被固定连接在阴极体上；在阴极体和靶材压条的外周设置屏蔽罩；其特征在于：在冷却背板和靶材之间还设置一层导热碳膜；还包括：一磁路组件；所述的磁路组件固定设置在阴极体内且位于冷却背板的下部；所述的磁路组件包括由永磁材料组成的外永磁体、磁轭、由导磁的铁磁性材料或软磁材料组成的导磁螺钉，由永磁材料组成的内永磁体和在外永磁体和内永磁体之间的二个由导磁的铁磁性材料或软磁材料组成的分流块；分流块通过导磁螺钉固定连接在磁轭上；外永磁体和内永磁体被粘接在磁轭上。