| 发明名称 | 薄膜太阳能电池制造装置 | ||
| 摘要 | 本发明的薄膜太阳能电池制造装置具有：成膜室，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，在所述成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；以及搬送部，支撑所述基板，将所述基板搬送到所述阴极与对置于所述阴极的所述阳极之间，所述间隔距离可变。 | ||
| 申请公布号 | CN101999172A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200980112427.8 | 申请日期 | 2009.06.04 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行 |
| 分类号 | H01L31/04(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 齐葵;王诚华 |
| 主权项 | 一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，具有：成膜室，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，在所述成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；以及搬送部，支撑所述基板，将所述基板搬送到所述阴极与对置于所述阴极的所述阳极之间，所述间隔距离可变。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||