| 发明名称 | 用于批量非接触材料特性鉴定的设备和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于执行非接触材料特性鉴定的设备包括适于保持多个衬底(12)的晶片载体(10)以及材料特性鉴定装置(20)，例如执行光致发光光谱分析的装置。该设备适于对晶片载体(10)的至少一部分，包括设置在其上的衬底(12)执行非接触材料特性鉴定。 | ||
| 申请公布号 | CN101999164A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200980112920.X | 申请日期 | 2009.02.13 |
| 申请人 | 威科仪器有限公司 | 发明人 | W·E·奎因;M·别洛乌索夫;D·S·李;E·A·阿穆尔 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 邬少俊;王英 |
| 主权项 | 一种用于对衬底进行非接触材料特性鉴定的设备，包括：(a)晶片载体，所述晶片载体具有顶表面，构造并布置所述顶表面以在其上保持至少一个衬底；以及(b)非接触材料特性鉴定装置，构造和设置所述非接触材料特性鉴定装置以对保持在所述晶片载体上的至少一个衬底的至少一部分执行非接触材料特性鉴定技术。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||