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经营范围
发明名称
SUPPORTER AND MASK STAGE USING SUPPORTER
摘要
申请公布号
KR101025086(B1)
申请公布日期
2011.03.25
申请号
KR20060101924
申请日期
2006.10.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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