发明名称 Heater heating a substrate and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR101023092(B1) 申请公布日期 2011.03.24
申请号 KR20090007872 申请日期 2009.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/02 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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