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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer duennen Schicht
摘要
申请公布号 DE1596827(A1) 申请公布日期 1971.04.01
申请号 DE19671596827 申请日期 1967.03.18
申请人 GLAVERBEL 发明人 PLUMAT,EMILE;BOHAIN,PIERRE;SERVAIS,ALBERT
分类号 C04B41/86;C03C17/25;C04B41/87;C23C22/73 主分类号 C04B41/86
代理机构 代理人
主权项
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