内嵌RFID的IC封装托盘、制造机台以及电子元件制造方法

摘要

一种托盘，包括一固定架，其具有多个卡槽，用以在工艺期间固定如集成电路的电子元件。托盘还包括一装置，可以耦接至固定架，用以追踪托盘送入或送出工艺室，这些工艺室是用来对放置在托盘上的电子元件进行特殊的工艺。在此也描述使用此托盘的机台和方法。

主权项

一种托盘，包括：一固定架，具有多个卡槽；以及一装置，配置在该固定架上，其包括：一处理器；以及一存储器，适于储存一计数值和多个指令，其中该计数值用以计次，而该指令则被该处理器所执行。