发明名称 | 基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法,包括集气罐,集气罐设有多个气体入口,每个气体入口之后分别设有质量流量控制器,质量流量控制器设有数字通信单元,数字通信单元通过串口与主控计算机连接,进行数字通讯,主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据,直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制,选择合适的数据存入MFC的存储器中,完成对质量流量控制器的控制,这样就省去了人工的参与过程。 | ||
申请公布号 | CN101989068A | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
申请号 | CN201010537806.6 | 申请日期 | 2010.11.05 |
申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 杨宇;陈远谋;赵雪 |
分类号 | G05B17/02(2006.01)I | 主分类号 | G05B17/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;赵镇勇 |
主权项 | 一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统,包括集气罐,其特征在于,所述集气罐设有多个气体入口,每个气体入口之后分别设有质量流量控制器,所述质量流量控制器设有数字通信单元,所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。 | ||
地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |