| 发明名称 | 自动缓冲系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种自动缓冲系统，所述自动缓冲系统包括壳体、设置于所述壳体内的装载端口以及设置于所述壳体内的晶片处理装置，所述自动缓冲系统还包括设置于所述壳体外侧的防护装置，所述防护装置可防止操作人员或推车碰撞壳体，确保所述自动缓冲系统的正常运行。 | ||
| 申请公布号 | CN201773827U | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
| 申请号 | CN201020262345.1 | 申请日期 | 2010.07.16 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 唐强 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种自动缓冲系统，包括：壳体、设置于所述壳体内的装载端口、以及设置于所述壳体内的晶片处理装置，其特征在于，还包括设置于所述壳体外侧的防护装置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||