| 发明名称 |
METHOD OF IMAGE FOCUSING IN PARTICLE-BEAM APPARATUS COMPRISING CHANGING THE BEAM INCIDENCE ANGLE AT 10 TO 15 HERTZ |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3597609(A) |
申请公布日期 |
1971.08.03 |
| 申请号 |
USD3597609 |
申请日期 |
1969.08.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AG. |
发明人 |
KLAUS ANGER;DIETER BRAUN;FRED FOX |
| 分类号 |
G01Q60/06;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
G01Q60/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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