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发明名称 CHAMBER AND ASSOCIATED METHODS FOR WAFER PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20110028540(A) 申请公布日期 2011.03.18
申请号 KR20117002990 申请日期 2004.03.23
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 PARKS JOHN
分类号 H01L21/302;B08B7/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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