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发明名称 PRECISE POSITIONING SYSTEM FOR DUAL STAGE SWITCHING EXPOSURE
摘要
申请公布号 EP2041622(B1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20060817862 申请日期 2006.11.20
申请人 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. 发明人 LI, YINGSHENG;LI, XIAOPING;YANG, ZHIYONG;GUAN, JUN;GAO, SHAOWEN;SUN, WENFENG;LI, GANG;CAI, YANMIN
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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