利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板的方法

摘要

一种利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板的方法，其特征是它包括以下步骤：首先，选择与掩膜基板上的掩膜板尺寸相配的功能掩膜板作为模板；其次，在所述模板的空白处形成与掩膜板一边截图相配的拼接用图案；第三，将带有拼接用图案的功能掩膜板放在拟制备掩膜基板的底板上，采用挡光板将不需要的图案挡住，将功能掩膜板上暴露的图案转移到底板上，再反复通过移动功能掩膜板在底板上的位置和挡光板的位置将暴露的图案转移到底板上，直至拼接形成一个完整的掩膜板；重复第三步的动作，即可在底板上形成所需数量的掩膜板，实现利用功能掩膜板制作整张掩膜基板的目的。本发明可以保证在制成紫外固化封接胶用掩膜基板的同时，节省一张紫外固化封接胶用掩膜板的费用。同时也节省了另外制作这张掩膜板所需要的时间。

主权项

一种利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板的方法，其特征是它包括以下步骤：    首先，选择与掩膜基板上的掩膜板尺寸相配的功能掩膜板作为模板；    其次，在所述模板的空白处形成与掩膜板一边截图相配的拼接用图案，并使该图案与该功能掩膜图案一起成形；第三，将带有拼接用图案的功能掩膜板放在拟制备掩膜基板的底板上，采用挡光板将不需要的图案挡住，将功能掩膜板上暴露的图案转移到底板上，再反复通过移动功能掩膜板在底板上的位置和挡光板的位置将暴露的图案转移到底板上，直至拼接形成一个完整的掩膜板；重复第三步的动作，即可在底板上形成所需数量的掩膜板，实现利用功能掩膜板制作整张掩膜基板的目的。