发明名称 |
晶圆全自动传输装置 |
摘要 |
本发明涉及一种用于在半导体晶圆测试中的晶圆全自动传输装置,按照本发明提供的技术方案,在旋转轴上设置的转盘,转盘上设有支架,在支架上横向架设若干根滑轨,在滑轨上滑动连接取片钳,在取片钳下方设有升降板及其升降驱动装置,升降板和固定设置的导杆滑动连接,在升降板上转动连接有检测转轴,检测转轴的顶端部设有吸盘装置,检测转轴与其转动驱动装置相连。本发明自动化程度高,取片与放片无需人工操作,降低测试成本。 |
申请公布号 |
CN101259921B |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
CN200810023651.7 |
申请日期 |
2008.04.14 |
申请人 |
无锡市易控系统工程有限公司 |
发明人 |
李玉良;孙盘泉;董晓清;戴京东;陈仲宇 |
分类号 |
B65G49/07(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I |
主分类号 |
B65G49/07(2006.01)I |
代理机构 |
无锡市大为专利商标事务所 32104 |
代理人 |
曹祖良 |
主权项 |
一种晶圆全自动传输装置,包括设置在旋转轴(1)上的转盘(2),转盘(2)上设有支架(3),其特征是:在支架(3)上横向架设若干根滑轨(4),在滑轨(4)上滑动连接取片钳(5),在取片钳(5)下方设有升降板(6)及其升降驱动装置,升降板(6)和固定设置的导杆(7)滑动连接,在升降板(6)上转动连接有检测转轴(8),检测转轴(8)的顶端部设有吸盘装置(9),检测转轴(8)与其转动驱动装置相连;升降板(6)的升降驱动装置为设置在转盘(2)与支架(3)之间的丝杆(18),在丝杆(18)的两侧各设一根导杆(7);所述导杆(7)固定安装于转盘(2)与支架(3)之间。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市新区科技创业园4区2楼200号 |