奈米结构微型化的方法

摘要

本发明提供一种奈米结构微型化的方法，其步骤包含：在既定成长(型)于基材(substrate)上的奈米结构筒状细孔(pore)的顶部开口上，以原子或分子态的材料堆积黏着于该顶部开口，使其顶部开口的口径逐渐缩小而形成一较原有顶部开口口径为小的奈米缩小口(reduced nano-aperture)；将气体分子或原子型态的镀源材料直接穿透该奈米缩小口，即可直接在奈米结构筒状细孔的底部基材上，形成更小奈米尺度的奈米点或奈米线或奈米环等的奈米结构。

主权项

一种奈米结构微型化的方法，其特征在于，包含以下步骤：(a)提供一基材及包括一成型于该基材上的奈米筒状细孔；(b)将基材放置于与奈米筒状细孔的顶端边缘的入射角成一非零倾斜角度的可移动式平台上，再将一沉积材料堆积于该纳米筒状细孔的顶端边缘，以缩小奈米筒状细孔的顶部开口的尺寸，当堆积该沉积材料时，将该可移动式平台旋转至少一周以上，用以将该沉积材料堆积于该边缘的一周边上，且缩小开口的堆积方式是从该顶端边缘以径向朝内延伸；(c)以一奈米结构成型材料来穿透过缩小尺寸的顶部开口，在基材的表面上形成一奈米结构，该奈米结构的大小尺寸与该缩小尺寸的顶部开口的大小尺寸相同；及(d)去除基材上的奈米筒状细孔部分。