| 发明名称 | 电镀用夹具 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种电镀用夹具。对于材料强度比较弱的极薄的半导体晶片等的被镀物接触于传导板的情况下，可解除被镀物产生破损、损伤等的情况。半导体晶片(W)使用螺栓(21)夹持于第一绝缘板(10)与第二绝缘板(20)之间。这样，以具有弹性的环状平板所构成导电橡胶(传导板)(60)存在于第一绝缘板(10)与半导体晶片(W)之间，该导电橡胶(60)弹性地面接触于半导体晶片(W)。藉此，导电橡胶(60)对于半导体晶片(W)有缓冲件的功能，缓和从导电橡胶(60)施加于半导体晶片(W)的载荷(压力)。 | ||
| 申请公布号 | CN1908247B | 申请公布日期 | 2011.03.16 |
| 申请号 | CN200610100898.5 | 申请日期 | 2006.06.20 |
| 申请人 | 株式会社山本镀金试验器 | 发明人 | 山本渡;秋山胜德 |
| 分类号 | C25D17/06(2006.01)I | 主分类号 | C25D17/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 一种电镀用夹具，包括：一第一绝缘板，具有一开口部；一第二绝缘板，与上述第一绝缘板夹持一被镀物，而使该被镀物从上述开口朝向外部；一传导板，设于上述第一绝缘板与上述被镀物之间，从外部将电传导至上述被镀物，其中上述传导板使用弹性地抵接于上述被镀物的导电用橡胶，在上述开口部的边缘设有使上述第一绝缘板与上述被镀物之间被密封的内侧密封件，在上述导电橡胶的周围设有使上述第一绝缘板与上述第二绝缘板之间被密封的外侧密封件，在上述第一绝缘板与上述第二绝缘板之中至少其中之一形成空气吸入通路，该空气吸入通路用于使由上述第一绝缘板、上述第二绝缘板、上述内侧密封件及上述外侧密封件围成的空间部保持负压状态。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||