发明名称 |
用于检查物体的系统 |
摘要 |
本申请提供一种用于检查物体的系统,该检查系统包括:(i)第一组传感器,用于感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分,以及用于生成表示被感测的第一光带的光成分的第一检测信号,(ii)第二组传感器,用于感测被检查物体的区域的图像的第二光带的光成分,其中第二光带不同于第一光带,以及用于生成表示被感测的第二光带的光成分的第二检测信号;(iii)光学器件,用于将被检查物体的区域的图像向第一组传感器投影并向第二组传感器投影;以及(iv)处理单元,连接至第一和第二组传感器,用于基于第一或第二检测信号来检测缺陷。 |
申请公布号 |
CN201765193U |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
CN200920270543.X |
申请日期 |
2009.11.26 |
申请人 |
康代有限公司 |
发明人 |
约西·凯尔比什;本尼·哈雷尔 |
分类号 |
G01N21/88(2006.01)I;G01N21/956(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种用于检查物体的系统,其特征在于,包括:第一组传感器,用于感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分,以及用于生成反映被感测的所述第一光带的光成分的第一检测信号;第二组传感器,用于感测所述被检查物体的所述区域的所述图像的第二光带的光成分,以及用于生成反映被感测的所述第二光带的光成分的第二检测信号,其中所述第二光带不同于所述第一光带,光学器件,用于将所述被检查物体的所述区域的所述图像向所述第一组传感器投影并向所述第二组传感器投影;以及处理单元,连接至所述第一组传感器和所述第二组传感器,用于基于所述第一检测信号或所述第二检测信号来检测缺陷。 |
地址 |
以色列米得哈曼 |