发明名称 SUBSTRATE HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101021396(B1) 申请公布日期 2011.03.14
申请号 KR20080024738 申请日期 2008.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址