| 摘要 |
<p>기판 상에 광열 변환층이 형성되고, 상기 광열 변환층 상에 구획 패턴이 형성되고, 상기 구획 패턴내에 전사 재료가 존재하는 도너 기판을 디바이스 기판과 대향 배치하고, 상기 전사 재료의 적어도 일부와 상기 구획 패턴의 적어도 일부가 동시에 가열되도록 광을 광열 변환층에 조사함으로써 상기 전사 재료를 디바이스 기판에 전사하는 패터닝 방법에 의해, 유기 EL 재료를 비롯한 박막의 특성을 열화 시키지 않고, 대형화, 고밀도의 미세 패터닝을 가능하게 한다.</p> |
