主权项 |
一种被检测光学元件旋转保持装置,相对偏心量测定装置的光学系统将被检测光学元件以可围绕着规定的轴旋转的方式保持,包括:吸引保持台,将上述被检测光学元件吸引保持在上述光学系统的光轴上;圆盘状旋转体,与上述吸引保持台所吸引保持的上述被检测光学元件的周面从一方侧抵接,并且使该被检测光学元件围绕着所述轴旋转;V字状抵接体,与上述吸引保持台所吸引保持的所述被检测光学元件的周面按照夹持上述轴的方式从上述圆盘状旋转体的相反侧抵接,防止上述被检测光学元件在旋转时的位置偏差;第一轴方向位置调整元件,用来进行上述圆盘状旋转体的上述轴方向的位置调整;以及第二轴方向位置调整元件,用来进行上述V字状抵接体的上述轴方向的位置调整。根据申请专利范围第1项所述的被检测光学元件旋转保持装置,其中,包括:加力元件,对上述圆盘状旋转体按照沿上述被检测光学元件的周面的方式施加力;以及制动器,克服上述加力元件的作用力将上述圆盘状旋转体保持在从所述被检测光学元件的周面离开的位置。 |