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一种树脂膜形成装置，系包含有：一旋转器，载置有中心设有一孔之圆板状之一碟片，并使该碟片以该孔为中心旋转；一树脂供给装置，将一树脂涂布于该碟片之该孔的周围；及一光线照射装置，系用于照射使该旋转器上所载置之碟片的该树脂硬化的光线，其中，该光线的照射位置，系自该旋转器上所载置之碟片的内圈侧朝向外圈侧移动，并且，在到达该碟片的外圈之前，停止该光线的照射。如请求项第1项之树脂膜形成装置，其中，该光线照射装置，系自该旋转器上所载置之碟片的内圈侧朝向外圈侧，连续移动该光线之照射位置。如请求项第1项之树脂膜形成装置，其中，该旋转器系以一第1旋转速度使该碟片旋转，俾使涂布于该孔之周围的该树脂延展，之后，以比该第1旋转速度慢的一第2旋转速度使该碟片旋转；且当该旋转器以该第2旋转速度使该碟片旋转时，该光线照射装置开始将该光线照射于该碟片。如请求项第1项之树脂膜形成装置，系包含有一碟片叠合装置，在藉由该树脂供给装置而涂布有该树脂的碟片上，从涂布有该树脂之面的一侧，叠加有别于该碟片之另一碟片。如请求项第1项之树脂膜形成装置，系包含有一树脂吸取装置，吸取由该旋转器上所载置之碟片漏出的该树脂。如请求项第1项之树脂膜形成装置，系包含有一硬化装置，对于经过延展且藉由该光线照射装置被照射过光线的树脂，再次照射光线。如请求项第1项之树脂膜形成装置，该光线照射装置包含有：一光线照射部；一臂，系支撑该光线照射部；以及一回旋驱动部，系支撑该臂，并使该臂回旋，以自旋转中之该碟片的内圈侧朝向外圈侧行进。如请求项第1项之树脂膜形成装置，该光线照射装置包含有：一光线照射部；一臂，系支撑该光线照射部；一回旋驱动部，系支撑该臂，并使该臂回旋，以自旋转中之该碟片的内圈侧朝向外圈侧行进；以及一垂直驱动部，系连接于该回旋驱动部，并且，当该光线照射部朝该碟片的外圈部移动时，使该臂上升，俾使该光线照射部上升。一种树脂膜形成方法，系包含下列步骤：将中心设有一孔之圆板状的一碟片载置于一旋转器上，并以该孔为中心旋转的步骤；将一树脂涂布于该碟片之该孔的周围的步骤；在一边自该旋转器上所载置之该碟片的内圈侧朝向外圈侧移动照射位置的同时，一边照射使该树脂硬化之光线的步骤；以及在到达该碟片的外圈之前，停止该光线照射的步骤。 |
